HelinInspect H6系列的白光干涉儀是高精度的面掃描的3D感測器,最高可達0.05um的垂直精度,突破傳統雷射3D感測器的限制……
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碁仕科技2018年度大作——3D元年系列作!
面對不同的應用可靈活更換探頭!
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領銜主演:高精度高速白光干涉儀—
Heliotis White-Light Interferometer |
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- 垂直精度可達 0.05 um
- 水平精度可達 0.8 um/pixel
- 可量測透明&高反光物體
- 內含FPGA晶片速度高於傳統白光干涉儀
- 面掃描Area Scan
- 廣泛使用的GigE介面
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HelinInspect H6系列的白光干涉儀(White-Light Interferometer)是高精度的面掃描的3D感測器,最高可達0.05um的垂直精度,突破傳統雷射3D感測器的限制,能量測透明與高反光物體,此外由於內含FPGA的晶片,掃描速率也能比一般的白光干涉儀更快,應用於半導體、電子、PCB、連接器、金屬...等不同產業。
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白光干涉原理 (White-Light Interference),透過分光菱鏡將光分為往待測物以及垂直於待測物的兩個路徑,再使反射回來的光進行干涉而生成波包,最後可以計算出待測物得高度資訊。
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精彩應用不容錯過!
PCB、金屬紋路、連接器、顯微透鏡等精密技術,一網打盡! |
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